Намӣ як шарти маъмули назорати муҳити зист дар фаъолияти ҳуҷраҳои тозакунӣ мебошад. Арзиши ҳадафи намии нисбӣ дар утоқи тозаи нимноқил аз 30 то 50% назорат карда шуда, имкон медиҳад, ки хатогӣ дар доираи танги ± 1% бошад, масалан, майдони фотолитографӣ –...
Маълумоти бештар